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CMP PAD
| 区分 | Size |
|---|---|
| I70 (Hard 硬垫) | 20”(Φ508) ~ 70”(Φ1780) |
| I60 (Standard 标准) | 20”(Φ508) ~ 70”(Φ1780) |
| I50 (Soft 软垫) | 20”(Φ508) ~ 70”(Φ1780) |
| I40 (玻璃基板 对应) | 20”(Φ508) ~ 70”(Φ1780) |